具冲击吸收器的微机电装置的制作方法技术资料下载

技术编号:14886479

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本申请涉及一种微机电装置,且特别是涉及一种具冲击吸收器的微机电装置。背景技术目前,微机电感测器已被广泛地应用于现代生活的许多领域。例如,微机电胎压侦测器已应用于各种车辆中、微机电声音传感器、微机电陀螺仪或微机电加速度计等装置已应用于各种智慧型手机中。而其它多种微机电感测器也被应用在物联网所需的智慧型电子产品中。微机电感测元件通常通过内建的可动元件的运动来判定如:加速度、角速度、地磁力等物理量的变化。当可动元件的运动范围过大,可能碰撞周遭的结构(如盖体)而损坏。在现有技术中,已采用一种固定式止动元...
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