技术编号：14886483
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及所谓的MEMS(Micro-Electro-Mechanical System，微机电系统)型设备。具体地，本发明涉及具有压电致动的MEMS设备。进一步地，本发明涉及一种包括该MEMS设备的投射MEMS系统、以及相应控制方法。背景技术如已知的，现今众多MEMS设备可用。例如，已知包括由反射镜形成的移动元件的所谓MEMS反射器。通常，MEMS反射器被设计成用于接收光束并用于经由其自身的反射镜来改变该光束的传播方向。通常，光束的传播方向以周期性或准周期性的方式变化，以便使用被反射光束来对空...
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