技术编号：14886486
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种微机电装置，且特别涉及一种用来控制加热能量的微机电装置。背景技术智能微型移动装置近年得以日益普及而融入大众的生活，与近来愈趋蓬勃发展的APP应用程序息息相关。这些APP应用程序之所以可以达到智能互动的功能，主要是由于人机与环境互动的感测技术持续演进。藉由在智能微型移动装置中加入各种传感器，可以及时地将环境感测信息提供给使用者，而达到多元的生活应用。在众多类型的传感器中，微机电气体传感器的发展是最为令人注目的。现有微机电气体传感器的感测方式是通过施加不同的电压至加热器上，使加热器对感...
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