技术编号：14886490
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种微电机系统的封装技术领域，尤其涉及一种激活温度可控的非蒸散型薄膜吸气剂及其应用。背景技术在真空电子技术中，残余活性气体会对微辐射热计、陀螺仪、微机械谐振器等MEMS(微机电系统)器件的可靠性、稳定性和使用寿命产生重要的影响，往往是导致器件性能下降甚至失效的主要原因之一。因此，这些器件通常需要在真空室内进行封装，且为了使相关MEMS器件在整个生命周期内都能可靠的工作，封装真空保持性十分关键。现今，随着器件体积的持续缩小，利用薄膜吸气剂吸附残余活性气体分子，维持和提高器件的真空水平是真...
注意：该技术已申请专利，请尊重研发人员的辛勤研发付出，在未取得专利权人授权前，仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。