技术编号:14923118
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及电声转换技术领域,具体涉及一种MEMS麦克风。【背景技术】近年来移动通信技术已经得到快速发展,消费者越来越多地使用移动通信设置,例如如手机、掌上游戏机、导航装置或掌上多媒体娱乐设备等。微机电系统(Micro-Electro-Mechanical System,MEMS)麦克风使一种利用微机械加工技术制作出的电能换声器,其具有体积小、频响特性好、噪声低等特点。随着电子设备的小巧化、轻薄化发展,MEMS麦克风被越来越广泛地运用到这些设备上。相关技术中,MEMS麦克风包括振动极板和与所述...
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