技术编号：14943088
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种微机械声换能器组件和一种相应的制造方法。背景技术虽然原则上可以使用任意的微机械声换能器组件、例如扬声器和麦克风，参照基于硅的微机械麦克风组件阐述本发明和本发明所基于的问题。微机械麦克风组件通常具有集成在MEMS芯片上的、用于将声能转换为电能的声换能装置，其中，由于声能可偏转的第一电极和固定的穿孔的第二电极(背面电极)电容式地共同作用。第一电极的偏转由在第一电极之前和之后的声压差确定。如果所述偏转改变，则通过第一和第二电极形成的电容器的电容改变，这在测量技术方面可以感测到。这种微机械...
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