技术编号：14962792
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及化学品输送领域，特别是涉及一种分支阀箱。背景技术随着我国半导体行业的继续发展，芯片生产线在我国也已开始越来越规模化，其目的是实现对芯片上的杂质、微粒子进行清洗等。而作为半导体制程后端化学品废液回收系统，回收酸碱废液中多种贵金属，涉及到多种危险化学品输送和应用，此类化学品都具有高危害性，高腐蚀性。在前端机台将化学品输送至阀箱中间管路，若管路太长或需要分歧管路，因供应管路为双套管，需设计对应的分支阀箱将三通连接、阀门连接等含连接点的部分包含在内，以防止漏液。实用新型内容本实用新型主要解...
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