技术编号:15457824
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明属于显示技术领域,尤其涉及一种补料装置及蒸镀设备。背景技术在OLED器件制作过程中,需要用到蒸镀制程,通过坩埚将金属材料熔融并形成蒸汽,将金属蒸汽通过掩膜版沉积在基板上,制成薄膜结构。在蒸镀过程中,需要不断将金属原材料投入坩埚中,以产生稳定的金属蒸汽,而蒸镀制程一般都在真空环境中进行,传统的补料方法为固定间隔时间进行补料,此方法存在以下问题:蒸汽的产生和消耗是受多重因素影响的,例如,当坩埚的温度偏低或偏高,使得蒸汽产生的速度会偏慢或偏快,又或者,由于蒸汽消耗主要是在基板上,当基板上的薄膜的...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。