一种双离子束金属镀膜自动化设备的制作方法技术资料下载

技术编号:15457833

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本发明涉及离子镀膜技术领域,尤其是一种双离子束金属镀膜自动化设备。背景技术在公知的技术领域,离子束溅射镀膜技术为科学研究与生产提供了薄膜涂覆的新工艺、新技术,为高温合金导体薄膜、磁性薄膜器件、薄膜集成电路、薄膜传感器、光学薄膜、金属异质结构的薄膜制备、材料改性中的薄膜制备等广泛的应用提供了新的技术手段。随着离子束镀膜技术应用领域的不断扩展和延伸,对离子束溅射淀积薄膜设备的要求越来越高。然而现在这类设备,仍以单一功能的离子束溅射镀膜机为主,具备辅助淀积功能的同时不具备共溅射功能,或者具备共溅射功能...
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