技术编号:15457843
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及化学气相沉积金刚石图层领域,尤其涉及一种用于沉积金刚石薄膜的热丝组件以及用于在刀具上加工金刚石薄膜的金刚石薄膜沉积设备。背景技术随着机械加工工业的迅速发展,加工业对各类刀具的需求量越来越大。因此,提高刀具的使用寿命成为加工工业的一大需求。而制备高性能涂层是提高刀具使用寿命普遍使用的方法之一。金刚石具有极高的硬度、弹性模量、热导率和化学稳定性,是十分理想的刀具涂覆材料。热丝化学气相沉积(Hot Filament Chemical Vapor Deposition,HFCVD)法由于其成本...
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