技术编号:15457846
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种固体金属有机化合物串联式温差使用系统及其应用,应用于金属有机化学气相沉积技术(MOCVD)制程设备的供给系统,实现化学气相沉积过程对金属有机化合物固体源的蒸气压稳定,属于光电子新材料技术领域。背景技术高纯三甲基铟等固体金属有机化合物,是金属有机气相沉积技术(MOCVD)、化学外延(CBE)过程中生长光电子材料的重要原料,广泛地应用于生长磷化铟(InP)、铝镓铟磷(AlGaInP)等化合物半导体薄膜材料,其优异的电学、光学和磁学等性能,可将半导体和集成电路推向更高的频率、更快的速度、...
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