技术编号:15626999
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及执行器装置及其驱动方法。背景技术专利文献1公开了压电执行器。专利文献2公开了管型压电执行器。专利文献3公开了功能元件、采用了功能元件的装置、以及功能元件的制造方法。【在先技术文献】【专利文献】专利文献1:日本特开2001-197758号公报专利文献2:日本特开2002-125383号公报专利文献3:日本特开2004-281711号公报发明内容发明要解决的课题本发明的目的在于提供一种新的执行器装置及其驱动方法。用于解决课题的手段本发明的执行器装置具有执行器以及能对该执行器施加高频电压的交...
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