技术编号：15631521
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种石英盘式谐振微机械陀螺谐振子的制造方法，属于MEMS固体振动陀螺制造技术领域。背景技术盘式谐振微机械陀螺是基于科里奥利效应的一种角速率传感器，其盘式谐振子被驱动后在一定的驱动模态下工作，当外界有角运动输入时，产生的科里奥利力将能量耦合到谐振子模态中，从而出现幅值与角速度输入成正比的响应振动模式，通过电极检测该振动幅值的变化，经解调计算后可得到真实的角运动量。谐振子的性能是影响盘式谐振微机械陀螺性能的首要因素。谐振子的性能主要通过品质因子、谐振频率、角度增益、机械灵敏度等主要参数表征...
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