单脉冲纳秒激光诱导透明介电材料表面周期性结构的方法与流程技术资料下载

技术编号:16515200

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本发明涉及透明介电材料表面周期性结构制备技术,尤其是一种单脉冲纳秒激光诱导透明介电材料表面周期性结构的方法。背景技术介电材料表面微纳尺度周期性结构(PSS)在光学、生物、电子、医疗、材料学领域具有广泛应用前景。产生PSS的方法可以划分为两大类。一类是基于掩膜光刻、电子束曝光、激光相干光刻、激光干\湿法蚀刻的直接成型技术。众所周知,这类技术涉及到复杂的步骤和工艺,需要真空加工环境,并且有时需要使用有毒有害化学试剂或辅助气体。另一类是借助材料的自组织特性形成PSS。例如,利用激光辐照材料表面就是一种...
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