技术编号：16541548
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明属于微机电系统技术领域，特别是一种基于MEMS工艺的二维磁驱动扫描微镜及其制备方法。背景技术随着微加工技术的进步及小型化传感器和执行器系统的应用需求，基于MEMS工艺的二维磁驱动扫描微镜作为一种微执行器件应用于激光雷达成像系统中。其作用是通过改变镜面的旋转角度，改变激光光束的出射角度，经物体反射后接收并处理，以此获得三维空间信息。与传统的机械式雷达相比较，MEMS微镜镜面尺寸一般需求为1mm以上，整体尺寸小，易于驱动，具有嵌入式装配的可能。与集成电路相比，微执行器件的集成更加困难，由于不同...
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