技术编号：16541561
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及微传感器技术领域，具体涉及一种压电式MEMS加速度传感器及其制备方法。背景技术随着现代化工业及科学技术的发展，工业装备不断向着复杂化、智能化、信息化等方向发展，这些装备组件精密复杂、工作模式多样、运行场合多变。而工业装备运行过程中的振动作为一种最为常见的物理现象，对装备的性能和健康状态具有直接影响，振动量如果超过允许范围，装备将产生较大的动载荷和噪声，从而产生较高的故障率，影响其工作性能和使用寿命，严重时还会导致零部件的早期失效，造成巨大损失或人员伤亡。为了切实有效地保养和维护这些装备...
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