技术编号：17596115
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。背景技术微机电系统(MEMS)器件(诸如致动器、开关、电动机、传感器、可变电容器、空间光调制器(SLM)和类似的微电子器件)可具有可移动元件。例如，典型的SLM器件包含处于单独寻址的光调制器元件形式的可移动元件阵列，响应于输入数据其相应的“开”或“关”位置被设置，以通过或阻挡从照明源指向阵列的光的传输或反射。对于图像投影系统中的SLM器件，输入数据对应于从像素色调生成的位帧的比特和图像输入信号的图像帧的强度信息数据。位帧可以是脉冲宽度调制方案中的比特的汇编，其使用加权时间段“开”或“关”时段，以...
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