技术编号：17692981
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种使用近接法的曝光装置，于单片基板将多个图样曝光的曝光系统、曝光方法及使用这些的显示用面板基板的制造方法，特别是关于使用多个曝光装置，于单片基板将不同尺寸的图样曝光的曝光系统、曝光方法及使用这些的显示用面板基板的制造方法。背景技术被作为显示用面板使用的液晶显示设备的TFT(Thin Film Transistor)基板及彩色滤光片基板、等离子体显示面板用基板等的制造，使用曝光装置，通过光刻技术于基板上形成图样以进行。作为曝光装置，有使用透镜或反射镜将屏蔽的图样投影于基板上的投影法，及...
注意：该技术已申请专利，请尊重研发人员的辛勤研发付出，在未取得专利权人授权前，仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。