技术编号:17816947
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明的实施方式涉及一种微波输出装置及等离子体处理装置。背景技术在半导体器件等电子器件的制造中利用等离子体处理装置。等离子体处理装置中有电容耦合型的等离子体处理装置、感应耦合型的等离子体处理装置等各种类型的等离子体处理装置,但已经在利用使用微波使气体激发类型的等离子体处理装置。通常,在等离子体处理装置中,使用输出单频微波的微波输出装置,但也存在如专利文献1所记载,使用输出具有带宽微波的微波输出装置的情况。以往技术文献专利文献专利文献1:日本专利特开2012-109080号公报发明内容发明要解决的...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。
该类技术注重原理思路,无完整电路图,适合研究学习。