技术编号：17917573
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明属于气体传感器技术领域，涉及一种基于激光烧蚀平面叉指电极气体传感器的制备方法，特别涉及一种可用于直接生长气敏薄膜的激光烧蚀平面叉指电极的制备方法。背景技术气体传感器，又称气敏传感器，是化学传感器的一个重要分支。随着科学技术的发展，工农业生产规模的逐渐扩大，产品种类的不断增多，气体传感器在生产和生活的许多方面所扮演的角色越来越重要。气体传感器是一种利用各种化学和物理效应，将气体的种类、浓度和成分等非电量信息按一定的规律转化成可测电量信息的新型气体测量传感器件，能及时地实现易燃、易爆、有毒和有...
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