技术编号:17917586
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及光电材料技术领域,特别涉及一种能够在保证高致密的同时能实现对氧化锌陶瓷体失氧率的控制,可以作为磁控溅射的靶材,满足下游光电镀膜行业的使用需求。背景技术氧化锌作为一种环境友好、储量丰富的多功能宽禁带氧化物材料,在经过一定数量的简并掺杂(如Al、Ga、In等)后,可以变成较高光电性能的透明导电氧化物材料(transparent conductive oxide,TCO),具有紫外光吸收、可见光透明、红外光反射以及电学特性可调等优点,在平板显示、薄膜太阳能电池、建筑节能用Low-E玻璃、智能...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。