技术编号:17917838
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及清洁设备技术领域,尤其涉及一种清洁系统及清洁装置。背景技术液晶显示行业较多工序需使用到平台结构,即Stage结构,以为玻璃基板提供精准的水平放置条件,例如涂布机(Coater)需在平台上对玻璃基板进行均一涂布,预烘烤(Pre-bake,HP)设备需在平台上进行均匀加热。平台作为精准的平台结构,较易受掉落的杂质或其他异物的影响,例如,光阻涂布过程中平台上杂质形成的高度会影响玻璃基板表面涂布的光阻厚度,常见显示面板上出现为蝶状Mura(明暗不均的现象),故在维护保养中平台是需要重点清洁...
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