技术编号:17956392
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种用于硅微通道板基体整体氧化防变形约束装置,属于光电子器件技术领域。背景技术相比于铅硅酸盐玻璃微通道板,硅微通道板(Si-MCP)具有很多优点,例如材料纯度高因而背景噪声低;微通道板基体和打拿极制作分别进行;硅微通道板基体耐高温;打拿极材料和制备工艺选择范围更大,可进一步降低MCP噪声、提高电子增益;易于制作小孔径微通道阵列结构,提高了MCP分辨率。作为光电子器件,硅微通道板也应该绝缘耐高压,有文献报道,见C P Beetz,J N Milford.Silicon Etching P...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。