用于硅微通道板基体整体氧化防变形约束装置的制作方法技术资料下载

技术编号:17956392

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本发明涉及一种用于硅微通道板基体整体氧化防变形约束装置,属于光电子器件技术领域。背景技术相比于铅硅酸盐玻璃微通道板,硅微通道板(Si-MCP)具有很多优点,例如材料纯度高因而背景噪声低;微通道板基体和打拿极制作分别进行;硅微通道板基体耐高温;打拿极材料和制备工艺选择范围更大,可进一步降低MCP噪声、提高电子增益;易于制作小孔径微通道阵列结构,提高了MCP分辨率。作为光电子器件,硅微通道板也应该绝缘耐高压,有文献报道,见C P Beetz,J N Milford.Silicon Etching P...
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