一种光栅式的面入射型光探测器的制作方法技术资料下载

技术编号:22246556

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本申请涉及光通信技术领域,尤其涉及一种光栅式的面入射型光探测器。背景技术高性能的光探测器(photodetector)是高速光通讯的核心器件之一,面入射型光接收器件对于空间光或者低功率接收有很大的优势。但是随着带宽的需求越来越高,由于光探测器的带宽更多地受rc时间常数的限制,更高的速度可以通过优化金属与半导体接触面的接触电阻来提升带宽。目前,可在波导式(waveguide-based)的光探测器中采用单晶硅接触(si-contact)来取代锗接触(ge-contact),降低金属与半导体接触面的...
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