具有纳米多孔结构的气敏传感器元件的制备方法与流程技术资料下载

技术编号:23629567

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本发明属于气敏传感器技术领域,具体涉及一种具有纳米多孔结构的气敏传感器元件的制备方法。背景技术随着现代化工业的迅速发展,大气环境污染已成为人们健康生活的重点问题,因此高稳定性、高灵敏度、快速响应恢复的敏感材料研发已成为当下气体传感器研究热点。多孔纳米阵列结构因其较大的比表面积,能够为气体吸附和反应提供更多的表面活性位点,将显著提高传感器灵敏度。xu等人采用ps微球模板剂,基于提拉法,制备出了多孔sno2敏感材料(sci.rep.5,10507);sun等人通过等离子刻蚀ps微球模板法,制备了cu...
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