技术编号:25543863
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及石英玻璃加工领域,具体涉及一种激光辅助的化学腐蚀加工方法。背景技术石英玻璃材料具有优良的光学性质和无疲劳、低迟滞的力学特性,被广泛的应用于精密光学器件、仪器仪表和生物传感器等领域。石英玻璃是典型的硬脆型材料,通常采用机械加工、激光加工、化学加工等技术方法进行特定石英玻璃结构的加工,用于透镜、基板、微机电系统等。机械加工是传统的硬脆材料加工方法,通常利用磨削作用实现材料的去除,完成铣削、磨抛、划片、倒角、打孔等,其主要的问题是加工面存在明显的亚表层损伤,并且难以实现小尺寸微结构的加工;激...
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