技术编号:25543869
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及半导体及显示面板技术领域,尤其涉及一种喷淋装置。背景技术目前,在半导体及显示面板行业中,玻璃表面化学沉积的方法多采用水平沉积或单面悬挂沉积,通过输送滚轮外加喷嘴喷洒,以达到工艺基板表面形成化学沉积的目的。但是这种常规的沉积方法仅能应对比较粗犷、对工艺结果没有高要求的产品,无法适用在半导体及显示面板领域。所以亟需一种喷淋装置,能够在半导体及显示面板领域内,保证工艺基板喷洒喷淋液更加均匀,即能够有利于形成均匀的化学沉积,以提高工艺基板的沉积质量。发明内容本发明的目的在于提供一种喷淋装置,能...
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