技术编号:25544040
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及氧化锆陶瓷技术领域,具体涉及一种氧化锆陶瓷表面导电化方法。背景技术陶瓷表面导电化方法常见于陶瓷表面金属化方法中,而陶瓷金属化方法常用于金属陶瓷密封焊接领域。采用陶瓷金属化方法的陶瓷一般有氧化铝、氮化硼、氮化硅、氧化铍等,且多应用于制造电子管、真空开关管等电子器件。陶瓷表面金属导电化方法中常采用烧结金属法和薄膜金属化法实现,当前而言,薄膜金属化方法常采用高能离子注入工艺、磁控溅射、气相沉积等工艺,该工艺成本较高,限制其应用;而烧结金属法因成本低被广泛工业应用。比如中国专利cn110981...
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