一种一体式水冷永磁螺杆真空泵的制作方法技术资料下载

技术编号:25957529

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本实用新型涉及真空泵技术领域,尤其涉及一种一体式水冷永磁螺杆真空泵。背景技术螺杆真空泵是利用一对螺杆,在泵壳中做同步高速反向旋转而产生吸气和排气作用的抽气设备,它是油封式真空泵的更新换代产品,其能抽除含有大量水蒸气及少量粉尘的气体,因而在国内制药、化工、半导体等对清洁度真空要求较高的企业领域得到广泛应用。现有申请公布号为cn110486276a的中国专利公开了一种双冷却螺杆真空泵,包括泵壳、主动螺杆、从动螺杆、电机,主动螺杆和从动螺杆转动设置于泵壳内,电机用于驱动主动螺杆转动。上述中的现有技术方...
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