一种激光器芯片的化合物外延生长的制造方法与流程技术资料下载

技术编号:26590051

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.本发明涉及芯片制造技术领域,具体为一种激光器芯片的化合物外延生长的制造方法。背景技术.激光器是一种能够发射激光的装置,其发出的光质量纯净、光谱稳定可以在很多方面被应用,以dfb激光器为例,其具备有高速、窄线宽及动态单纵模工作特性,且其可在更宽的工作温度与工作电流范围内抑制普通fp激光器的模式跳变,故而dfb激光器在光通信领域得到了广泛的应用。.光通信用的dfb激光器芯片一般采用inp为生长衬底,且在制造时需要经过两次外延生长,两次外延生长分别制备光栅与形成接触层,激光器芯片的质量与使用效...
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