技术编号：2700628
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明公开了一种六自由度微动台及其应用，该六自由度微动台包括承片台、三组垂向驱动装置和三组水平向驱动装置，其中，三组水平向驱动装置200呈120度布置于承片台的底部，完成水平向X、Y、Rz三个方向的位置调整，并且三组水平向驱动装置的出力沿出力方向组成一个矢量圆；三组垂向驱动装置也呈120度布置于承片台的底部，完成垂向Z、Rx、Ry三个方向的位置调整；水平向驱动装置和垂向驱动装置均采用动磁铁方式，消除了电缆的扰动。本发明的六自由度微动台取消了气浮或磁浮重力补...
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