技术编号:28502575
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。.本实用新型涉及晶片制造技术领域,尤其涉及一种晶片研磨烘干检测工作台。背景技术.晶片属于一种高规格精密产品,其制造成本较为昂贵且本身也较为脆弱。在晶片的制造过程中,需要经过包括研磨、冲洗、烘干和检测等步骤;在晶片的研磨过程中,一般使用研磨盘进行晶片的研磨,其中研磨盘主要是采用球墨铸铁,而采用的研磨磨料是金刚石磨料。.对晶片的研磨是依靠研磨盘与磨料之间的摩擦进行打磨,摩擦力会将晶片削减掉量,但同时晶片与磨料之间也存在不稳定性,若磨料分散不均匀,出现少量的堆积,则可能造成晶片表面的划伤,从而导...
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