技术编号：30012446
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种用于准确测量沉积原料的剩余量的沉积装置。背景技术沉积是一种用气态颗粒涂覆物体(例如金属或玻璃)的表面以在其上形成薄的固体膜的方法。近来，手机、笔记本电脑和数码相机等便携性很重要的设备变得普遍，并且随着空间利用率或设计对薄型电视的需求增加，对制造平板显示面板的设备和工艺进行了积极的研究。特别而言，近来有机发光二极管(OLED)显示面板由于例如视角宽和响应速度快等优点而受到积极研究。多数OLED显示面板是通过真空热蒸发制造的。这里，真空热蒸发是通过用有机\/无机材料填充坩埚以形成真空，...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。