镀膜设备的框架式真空室的制作方法技术资料下载

技术编号:3425475

提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。

本发明涉及一种真空室,特别是镀膜设备的真空室。 背景技术业内熟知的PVD (物理汽相沉积)或CVD (化学汽相沉积)镀膜工艺例如是一种在 真空条件下的镀膜方法。PVD是基本上基于物理沉积把材料镀覆在被镀工件上,而CVD则 是基本上基于化学反应的镀膜方法。两种方法的共同点都是在高真空条件下(10_3毫巴至 10_7毫巴)或超高真空条件下(10_7毫巴至10_12毫巴)进行。在本发明的范围内,真空泛 指在一定容积内的流体状态具有低于10—1毫巴的压力。为了产生...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。

详细技术文档下载地址↓↓

提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。
该分类下的技术专家--如需求助专家,请联系客服(仅向企业会员开放)
  • 王老师:功能高分子材料,污水处理,电化学合成
  • 赵老师:1. 金属材料表面改性技术 2. 超硬陶瓷材料制备与表面硬化 3. 规整纳米材料制备及应用研究
  • 王老师:1.数字信号处理 2.传感器技术及应用 3.机电一体化产品开发 4.机械工程测试技术 5.逆向工程技术研究
  • 王老师:1.精密/超精密加工技术 2.超声波特种加工 3.超声/电火花复合加工 4.超声/激光复合加工 5.复合能量材料表面改性 6.航空航天特种装备研发
  • 郝老师:1. 先进材料制备 2. 环境及能源材料的制备及表征 3. 功能涂层的设计及制备 4. 金属基复合材料制备
  • 刘老师:非常规环境下二次电池关键材料与电化学机理,锂/钠离子电池,锂-空气电池关键材料,多孔合金电极材料,新型二次电池的设计与改性。
  • 丁老师:1.材料物理与化学 2.新能源材料与技术 3.纳米多孔金属 4.纳米催化/电催化 5.化学合成及修饰 6.燃料电池 7.生物传感器
  • 王老师:机械制造