技术编号:3437926
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及一种多晶硅铸锭炉用石墨坩埚。背景技术在现有使用的多晶硅铸锭炉中,用于支撑石英坩埚的石墨坩埚都是由一块底板和 四块侧板构成,当发生硅液溢流时,硅液在平坦的石墨坩埚底板上四处流动,从而不能及时 发现,延长了事故的报警时间。 中国专利授权公告号为CN201104102Y,授权公告日为2008年8月20日的实用新 型专利公开了一种多晶硅铸锭炉用石墨坩埚,该实用新型在石墨坩埚底板四周与侧板的底 部之间开设沟槽,当石英坩埚出现裂缝时,可在沟槽的导引之下,...
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