技术编号：4986606
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型属于三氯氢硅生产，具体涉及一种综合利用废硅粉生产三氯 氢硅的设备。背景技术从我国三氯氢硅产业发展情况看，大多数企业都未配套安装废硅粉回收装置。大 多数企业生产中混合气体除尘后产生的废硅粉直接排往淋洗塔，有少数厂家采用将废硅粉 排入一个大容积的存灰罐内，再由人工定期排出。第一种方法相当于湿法除尘，由循环水泵将水分多层打入淋洗塔内，含硅粉气体 从塔中下部进入，被从塔内多层喷淋装置喷淋下来的液体吸收，使硅粉沉积于塔底的池内。 该方法可以保证除尘设备的再...
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