技术编号：5682786
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及一种移动垫铁，特别涉及一种可调整高度并且具有自锁及防 振功能的可调移动垫块。背景技术目前，在光刻机整机集成过程中，大多数设备都需要可调移动垫铁，将其移 动和提升到安装位置，实现机械接口的连接。可调移动垫铁就是一个移动和提 升部件。因而在设备的安装时常常会使用调整垫铁,但是传统的调整垫铁不能够随时 整个移动，从而无法水平移动待安装的设备。另夕卜，在狭小空间内移动和安装精密设备时，被移动和提升的设备本身体积 就较大，而且在设备周围有许多已经安装好...
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