技术编号:5837559
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种测量流体压力的压力传感器及其制造方法,尤其涉 及这样一种压力传感器,它包括具有第一主体部件和第二主体部件的外 壳以及设置在第一主体部件和第二主体部件之间的径向张紧的柔性隔膜/ 膜片,其中形成第一和第二主体部件的材料与形成隔膜的材料相匹配, 从而这些材料的热膨胀系数相互适应。背景技术现有的压力传感器包括主体部件和夹持在这些主体部件之间的金属 隔膜。如US6,019,002所披露的一样,通过使金属隔膜沿径向延展来径向 张紧该隔膜。如US4,158...
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