技术编号:5885516
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及,属于精密设备的性能检测领域。背景技术静压气浮导轨是以一定压力亚音速流动的气体作为润滑介质的一种无摩擦/极低摩擦的支撑元件,具有精度高、无磨损、清洁、无污染、寿命长、免维护、低发热、结构设计灵活、耐高/低温及原子辐射等特点,广泛应用在三坐标测量机、高精度数控加工、生物芯片技术、光纤对接、以及微型机械零件的操纵、装配和精密定位、加工等领域。随着制造工艺和测量技术的飞速发展,加工技术不断向极限加工、超高精度和更高效率的方向迈进,促使加工设备日益大型化...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。