技术编号：5947151
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种微型角速度传感器，特别是涉及ー种微型热驱动气流陀螺及其制作方法。背景技术微型、高性能的惯性传感器在航空、航天、车辆、船舶、机器人等行业有广泛的应用需求，微角速率陀螺就是其中ー员。常规微角速率陀螺采用固体质量块振动，并采用电容等方式检测哥氏力产生的质量块在与驱动方向垂直方向上的运动，该设计结构复杂，有活动部件(质量块)，需要采用复杂的硅加工エ艺，エ艺难度较大，由此带来可靠性差，产品合格率低。基于流体的角速度传感器以流体代替运动质量块，不仅可以简...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。