技术编号:6084814
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明属于激光衍射测量的。一九七五年的《仪器与技术》(Appar tus and Technlgues)登载南非B.D.Rothberg Bitty的“激光对微应力装置定标的应用”中,提出用激光衍射装置测量系统,测量微小狭缝的应力变形,当狭缝宽度为250微米时,其测量分辨率只能达到一个微米左右,无法满足分辨率达百分之几微米的实际测量要求。本发明的目的是为了提高激光衍射测量技术的分辨率和测量精度,发明人将光学空间滤波技术和电子学中的低噪声微分电路等技...
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