技术编号：6093074
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明通常涉及光学器件，尤其涉及基于微谐振器的光学器件。背景电介质微球或平面波导环或圆盘形共振器在传感应用方面(包括生物传感)越来越引起人们的注意。这些类型的共振器尺寸通常对于微球而言为约20μm到几毫米，对于环或圆盘形共振器而言为5μm到几十微米。这些微球和环或圆盘形共振器通常称作微谐振器。在大部分常见的微谐振器基生物传感器结构中，微谐振器接近于光波导(如光纤)，其几何形状经过特别调整，例如为锥形或蚀刻到尺寸为1-5μm。对波导的锥形修改导致在波导外部具...
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