技术编号：6113057
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及给二维薄膜材料加电系统的建立，具体为一种对具有微/纳 米尺度的薄膜材料、集成电路用金属化互连体薄膜等二维薄膜材料在电/力/ 热耦合作用下的性能测试系统的搭建及性能测试方法。背景技术薄膜材料广泛应用于大规模集成电路互连体布线及微/纳电子机械系统 等领域，由于其长期工作在电、热的交互作用条件下，而薄膜材料与基体 往往是由不同材料制成的，材料热膨胀系数的差异势必导致在薄膜材料内 部产生热应力，于是，薄膜材料在实际工作中受到电/热/力耦合作用，而影 响其...
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