Tdlas温度校准系统的制作方法技术资料下载

技术编号:6194864

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本发明涉及真空环境下气体温度测量与校准技术,特别是一种TDLAS温度校准系统,所述 TDLAS (Tunable Diode Laser Absorption Spectroscopy)是指可调谐二极管激光吸收光谱技术。背景技术真空环境不仅会导致温度传感器表面材料解吸,而且其传热机理与常压不同,如在真空环境中,固体表面到气层间存在“温度突变现象”,因此采用常压下标定和校准的温度传感器测量真空环境下气体温度存在诸多不确定性因素。本发明人认为,利用热电偶温度传...
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