环形导轨内凹槽面的光学检测装置制造方法技术资料下载

技术编号:6206485

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本实用新型公开一种环形导轨内凹槽面的光学检测装置,所述内凹槽面沿环形导轨周向且位于内侧或外侧,其聚光凸透镜位于激光器和准直凸透镜之间且聚光凸透镜的焦点与准直凸透镜的焦点重合;分束镜位于聚光凸透镜和准直凸透镜之间,用于将来自准直凸透镜的光线分为第一光束和第二光束;所述参考透镜位于准直凸透镜与分束镜相背的一侧,该参考透镜与准直凸透镜相对的表面为凸面,此参考透镜与凸面相背的表面为标准球面;所述圆锥反射镜位于待检测所述环形导轨内,且圆锥反射镜的旋转轴与环形导轨与参...
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