技术编号：6636345
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明提供一种静电驱动阶梯型微悬臂梁吸合电压的预测方法和系统，其方法包括步骤建立阶梯型微悬臂梁与衬底固定电极之间的间隙模型；建立所述阶梯型微悬臂梁在静电力作用下发生的变形的试函数模型；按照阶梯型微悬臂梁的横截面大小对其进行区域划分，得到多个梁单元，根据所述梁单元的结构参数以及所述阶梯型微悬臂梁的材料参数确定所述阶梯型微悬臂梁的加权刚度，其中，所述材料参数包括材料特征长度参数；根据所述间隙模型以及所述试函数模型计算所述阶梯型微悬臂梁的吸合位置系数；根据所述吸...
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