技术编号:6729242
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明属于故障检测技术,具体地说是一种。 背景技术随着半导体技术的快速发展,对半导体制造设备的要求也越来越高,在生产中对半导体设备进行实时监测和有效的故障报警是现代电子制造业的发展趋势,要求现代半导体设备不仅要能够及时响应多变的外部环境,还要能快速重新配置内部各种资源,并对其进行故障报警,以达到优化生产的目的。目前报警装置监视半导体设备系统关键参数的变化,在发生非法变化时产生报警信息,并告之操作员做相应的处理,在半导体设备工作过程中,当出现故障时,该报警装...
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