技术编号:6763467
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种能够进行热模式记录的抗蚀剂、一种使用这种抗蚀剂形成图案的方法、一种制造光信息记录介质的方法、一种母板(master)、一种模板(stamper)和一种光信息记录介质。背景技术 形成图案的方法使用被称为抗蚀剂的光敏材料,其中通过曝光有选择地改变抗蚀剂的状态(包括不同的放射线,如电子束或带电粒子束)。接着,在抗蚀剂的状态改变了的部分和没有改变的部分以不同蚀刻速率进行蚀刻(和显影),从而形成凸凹的图案。这种方法实际应用在用于制造各种各样的光信息记录...
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