在其隧穿层中具有量子点的晶体管的制作方法技术资料下载

技术编号:6846365

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本发明涉及一种半导体组件,其设置在半导体本体中,在所有情况下都具有第一导电类型的至少一个源区和至少一个漏区,在所有情况下都具有设置在源区和漏区之间的第二导电类型的至少一个本体区,以及具有借助绝缘层相对于半导体本体绝缘的至少一个栅电极。本发明还涉及一种制造半导体组件的方法。背景技术 在广泛的实施例中公知了具有晶体管功能的组件,这些实施例中之一是场效应晶体管(FET)类型。在场效应晶体管的情况下,通过将电压施加到控制电极(栅电极)上来改变电子沟道中的电荷载流子...
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