具有锡基焊料层的半导体器件及其制造方法技术资料下载

技术编号:6854284

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本发明涉及一种。背景技术 常规地,使用铅-锡合金(Pb-Sn合金)焊料将半导体衬底如具有半导体器件的IC芯片接合到基底部件如散热装置和引线框上。然而,考虑到环境防护如安全和低损害,需要使用无Pb焊料或含低Pb的焊料。无Pb焊料其中之一是锡基焊料。日本专利申请公开No.2003-347487公开了用锡基焊料将半导体衬底的背侧接合到基底部件上。衬底包括背侧电极。电极由钛层、镍层和金或银层组成,将它们按顺序堆叠在衬底上。基底部件是热辐射部件。用锡基焊料将衬底装配...
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